第二百七十八章 光刻机测试(下)(1 / 2)

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梁安亲自动,使用用夹具,将光刻的几十硅晶圆进专用器,拿芯片生线那边,去进行续的刻、离子入、薄沉积、学机械磨等步

多小时后,所工序走,几十硅晶圆,变成了千多枚装完成ARM1芯片。志航、光辉、安平等管和研人员,始动手这批芯进行全测试。小时后,所有芯测试完,梁安对测试果进行汇总,后宣布:“此一微米刻机测,共选了35硅晶圆,加工过,切割装成1750枚片。经面测试,合格产共1203枚,格率为68.7%。也就说,咱光刻机发实验生产的一台一米光刻,第一开机测生产,成功了,且合格已经达了晶圆厂内现几台佳和尼康刻机的工水平。”

梁安平发言,志航带鼓掌,他北极高管和发人员,以及其负责封测试的工紧随后,现爆发出阵热烈掌声。

(以下复,两时后刷

天,吴航驱车回了深电子产园,连墅也没,第一间就来了晶圆厂。光机需要作在超无尘环下,刚组装完的测试机正在尘车间安装调。吴志换了一白色防服,戴防尘帽,通过风间进入尘车间。

此时上午十左右,于每天早班时,晶圆厂的四芯片生线正在力运作,数千名人,正生产线,有条紊的工。走过产区域,进入测区域,梁安平首的几名研究员,正在一台人多高设备,最后的试,旁还有几北极星司的高站在那围观。志航凑前去,研发部吴光辉道:“台就是刻机研实验室作出的一台光机,什时候能始光刻试?”

听到有提问,威力、小雅等同时转看过来,见是老吴志航,纷纷打呼问好,吴光辉声给吴航解释:“对,就是这机器,天组装成之后,第一时就从研大楼搬到了无车间,过一天夜的安调试,在已经差不多。”

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