第四百六十章 5步光刻法(1 / 2)

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1992年3

新华全文播“为改开放保护航”

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全彩议室

天开会的人特全,因公司到一个新节点。

在会议中央,放着几10.4寸的TFT-LCD样品。这几块品,是产线设跑出来。LCD生产线,终于彻跑通了次。

然了,个跑通,不等于上就能产。因还有产质量问,良率题。但下的事相对就办了,家慢慢时间吧。

“样给骆师送去了?”

“送去了,她们的路板已准备得不多了,估计过天,成就会送来。”

会议室众人,对第一可以显图案的LCD成,期盼

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议的重,永远是良率题。

ODF工,被引以后,理说TFT-LCD的良,不应有什么题了。下的都很普通半导体工工序。

光电然没有圆的生经验,LED生产经不算少。但实情况,非如此,LCD尺寸,在是太了。

“小成,那边的次光刻术,是成熟了?”

山是产线调试的术负责,从现开始,率,良的问题,主要就他的事了。

“怎么了?”

品的良不足,跟现在TFT的工工序数过多关系。”

TFT的加工艺,与圆没有理上的质区别。每一次刻,成,清洗,涂光阻,曝光,显影,干,蚀,去光胶,检,都要一遍。

目前的TFT加工艺,用的是次光刻工艺。就是基需要通七次光,才能成加工。

而在圆芯片加工过中,几次的光,是最的了。也是为么晶圆的成品很难提的缘故。步骤越,总成率就越

成,如你有好技术,赶紧拿来吧。”

白学也在一加入了团,进劝说。

“好吧。”

兴犹豫一下,还是妥了。这技术,是准备留到下代的。历史上,五步光法,要几年才出现。

会议很就转向其它议

国产原的送检。但这不影响要进度。

有,错,没,也不么值得家关心。

从全员工的度看,些都是应商,谁的不用?用产原料,反而是大家添烦。

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会后,学成和永兴,青山三人到小议室闲

产线的线调通,大家的情,也慢慢放了下来。

刘民最后还接任了《光电设》的总理,但不怎么冰城,以他的个总经,只是挂名。

好在几下属设厂,完可以独工作,没有这上级单,也没太大关

的光电备本部,又重建一套独的管理子,周等一批,从其兄弟单调动了来。

“我们的示基地划,一还没有下来。”

“这我知道。”

怎么一都不急?”

学成对永兴的度,感有点奇

有用吗?”

呵,是!”

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