第244章 超紫外激光!波长一.五nm!功率二千w!…(1 / 2)

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时间眼就到第二天。

测试果非常人,昆集团的学系统,包括最要的物在内,次就点了,并成功流

此同时,这次实也发现不小的题,中光电院责的光,波长然达标,但却存功率太的问题,导致硅曝光不,即便系统馈的光学统和超物镜,没办法救。

“情况怎样了?”

高原去睡了觉,回实验室了个哈

落小脸白,这怜的孩,激动担心,她昨晚没睡好,而高原不同了,他不仅舒服服一觉,顺便进系统空学习知

在调整源,他太拖后了,我实在不,就用们自己光源吧!”楚落心思单,也没多想,即说道。

高原眉,看实验室,一群穿着白色尘服的程师,在对光发生器行调试,整个测也因此入停滞,大家都等待。

看来他的激光率的确问题,且不像时半刻够解决样子。

想到这,高原进了项办公室。

由于联合项,各家总都来,所以公室里比较多,一个个显得很惫。

“杜所长。”高原长春光所的杜明说道:“这次们带来超紫外源,实不行,先测试紫外激吧,光所的深外放在面测。”

高原了光源,这件事早就通过的,场的人很清楚。

只是家心里有点疑,超紫光源是什么东西?以前听说过

所做的源叫紫,或者深紫外光,波193n,是目全球应最广泛存在,微米级片,一到14n芯片,可以使这种光

体代工头台积,甚至深紫外光拿下7n工,令全为之震,彻底响了自半导体域第一王山的号。

以中科电所测深紫外源,高一点意都没有,这种光虽然做出顶级艺,但在便宜,性价高,并是说高拿出超外光源,深紫光源就需要了。

合格光刻机,应该时兼容几种光,好几工艺,以高原中科光所先测深紫外,打算他们弄了,再试自己超紫外。

谁知光电所整天下,毫无展,这高原有按捺不了,提让光电的工程休息一,人有候就是样,越越忙,不好大睡一觉,洗个热澡,茅顿开,难就解了。

维明蹙道:“光源发器拆下,再换你们的,恐怕要半天时呢,要再等等,光源不是电泡,换换去的麻烦,且每次装,精还要再校准。”

杜维说的也实话,刻机又是缝纫,不能天拆来去的,微一动,精度就重新校,很麻的。

原来的候,光所的深外光源,就已经在测试台上了,否则高一定会求先测自己的源。

而,这对话让电院的欣迎院,脸色阵红一白,有坐不住

做科研,龚院虽然一对昆仑团敬佩加,但也太伤了吧!

好像纯是因为麻烦,勉强让己的光留在机上,要拆装容的话,就把自的光源下来扔

行?

你们就吧!

紫外激

么玩笑

还能比兰sl极紫外强!?

要知道,sl已把波长到了13.5n,而传统紫外光193n,两种源之间,有着本的差别!

我就信了!

你们昆集团的个什么紫外光,也能做13.5n?

怕就是名字而吧!

仑集团来热衷传,给己的产和技术,起一些夷所思古怪名

是固态池,却昆仑晶

是复合纤维,叫昆仑星。

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