四百四十七 完美的闭环(1 / 2)

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恋上网,致从1978开始

等林本出来,人边吃聊,卫东正式林本建出邀请,希望他大陆继研究紫光光刻,将来在芯科技门成立个部门他负责,同样可给予众科技的份。

“林先生,如果你有什么求,我都可以。”卫东的态很诚恳。

林本沉默了开口说:“卫生,或你不清,研发13.4米的极外光遥可及而耗费巨,现在刻机还在193纳米这这个阶。”

“我知道,极紫外是光刻发展的来,而193纳这道坎将会被过。”向东笑答道。

林本建了笑了来:“先生,是个局人,竟比我们些局内还充满信?”

“或许是因为是个局人,所和你看题角度同,光机停留193米已经几年了?所谓积薄发到突破时候。是有一叫什么润式光吗?我那个法就行。”卫向东道。

“浸润式刻?卫生你也为浸润可行?!”林本的声音然变得动起来。

不是认为行,是因为史最后明这个子行!

卫向东在不明这个林建为何此激动,旁边的如京才诉他,80年末期,本建就出随着片精度来越高,光刻机精度最会遇到颈,可用浸润原理解这个问

当时业正要准1000纳米的产,后林本建帮ib决两个代以后技术,就是500纳米;那时还很多方可用,需要浸式这种为复杂办法。

直到九年代初,光刻的研发到了193纳米,包括ib、佳能大型公,都是着研发式157n光刻的道路力前进,根本没理睬到本建的个冷门浸润式!这让他是沮丧。

所以,今天从个外行里说出好浸润,林本感到有激动。

“卫先,你怎认为浸式办法行,如液体穿率不高题?”

面对林建急切发问,向东愣了。

懂个屁......

只不过穿越前网上无时候看一些这的文章,知道几术语而何况又去了这多年?

哎.....

知道做功课,网上查这方面资料就了,这又到了2000吗?已有网了。

卫向心里暗后悔。

看到卫东略微尬的表,林本这才意到,对只是个业家,技方面粹就是门外汉!”

这个浸式也不道从哪看到的料,觉好玩而

建顿时些失望,刚准备束这个题,突又听到向东蹦一句话:“可以水呀......水不是透明吗?”

水?水193米波长折射率得到,问题在157米波长水的折率是量出来的,因为不光......”林本建刻反驳。

“为非要用157纳?那就193米下的光呗。”卫向东心翼翼答道。

“你不,现在主流是157纳......”本建随回答了句。

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