第89章 第2代光刻机诞生(1 / 2)

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赵烨这台光机设计光刻机动系统,是利用杠杆原来实现

现在这机器还几乎是手动,烨利用密的丝,再带密齿轮,把底的运动离,放了很多,这样能实现刻机外设置的轮,转一圈,座按照计位移微米。几乎是个时代极限了。

这样手轮在刻机的作台上七个,别控制座不同运动路。等到套系统安装完后,几专家立就进行试。测的工作安装还慢,等试的工完成后,整个地室都响了热烈掌声。

“太不思议了,太伟大!这简就是奇!”负测量的员,都烈的拍巴掌,这些高技工,以热烈掌声。

这些精加工,是赵烨几个人,一点点用手完的。最的移动度,震了精密量专业专家。

要实现此精密位移,一点儿不简单。

掌声止了,作照常行。

量用的备,一被拆除,还有些被保了下来。然后就到透镜进行安了。

烨还有个过来援的高钳工,步步,点点的整套系安装完,整整了一个期,第台设备算是正诞生并过了检

无不激的掉泪,这几乎是国家密仪器代表之!在此此刻,甚至可说是全界最精的仪器一都毫过分。

众人激过后,是合影念。唯还没有出笑容,只有个泉教

教授,天就是生产了,成败可看你的泡了!”没等赵上前说,慈教就已经着泉教说了这一句话。搞的泉授更加张了几

取一次过,争!”泉授可不把话说太满,实话,是真的里没底

一见对这么说,也就没过去再什么,家已经么紧张,自己不去给施加压了。

个时候,无论你什么安话,反到对方子里的,都是无的压力。

赵烨地下车走出了,就去看锭的处了。

时的硅,已经一开始30MM直径,大到了50MM右了。产这个锭的是上一家厂。他在赵烨供的一资料帮下,成做出了种规格硅锭。锭的纯度虽然有待提,但是少是能的了,非良品低一些。

不过赵烨这BG在,少量的锭他还能处理

在切割的硅晶上一阵摸,一儿拿起个,一儿又拿那个。人以为是观察割的质,可是人知道,他是在理晶圆。

总不真的按真实的品率来?那也折磨人。这经一下他手,成率一下上来了。要是有问为什,那就赶上了,巧合了,对方生用心了。

还有点,现的晶圆径还是小,但烨他们加工精又远远够,那赵烨等放弃了晶圆切一个矩的思路,而是把片做成个圆形。

可是形也有形的弊,最主的一个是,无分辨方和位置。这在加和使用时候,常的不便。

烨于是想了个法,既正圆不,那就它一刀了。于就有了在的晶,每一都切掉一个三度的弧,就是把整个截的个扇区域,成一个角形。

这样,了一块的这边是正上,除此外,为定位的要,在个直边他的下,还开三个不形状的缺口。样一来加工的个环节能清楚知道这晶圆的反面和向。

二天吃了早饭,浩浩荡的几十都来到地下车,大家想见证下,第块这么规模的成电路产生。至**报还派了专门摄影记,一个像机和相机,别架在光刻机一边。

赵烨和华一组,第一个机试生。照相清楚的录下赵拿起的一块硅片。

然是试产,电的设计实并不很复杂。不过为验证一技术,部地方设计的是比较细和复的。可便是这,这一用来测的三十晶圆,是用了整一天时间,从这个间走出

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