“马总,我得到小道消息,微电科创始人何文康要出售其公司。”倪光南院士得知这条消息后,第一时间来找马东。
马东问道:“微电科的技术实力怎么样?”
倪光南院士说道:“能自主设计生产低端光刻机,不过微电科有一只300人的研发队伍及现成的4级洁净车间。
咱们公司建设的6级洁净车间还需要7个月时间才能投入使用,实验室人员设计的RISCV架构芯片,要有一个流片的工厂,微电科就是一个不错的选择,我们的团队还在磨合期,他们有一支成熟的研发团队,能为我们解决不少难题。”
马东点头赞同:“倪院长,我们海思确实需要这批研发人员,公司人员全力配合你,多花点钱也无所谓。”
倪光南院士带着团队,第二天就来到同在一所城市的微电科,前后花了一周的时间,用3.8亿元的价格全资收购微电科。
这场闪电般的收购,让微电科员工来不及做出反应。
随后,知道是海思收购了他们,所有人都欢呼雀跃。
然后,马东频频从海思抽调人员前往微电科实习、练手。
倪光南院士又建议马东向光电所采购,他们今年6月份通过800纳米CMOS全套工艺进行工艺考核的1000—800纳米分步重复投影光刻机。
分步重复投影光刻机是微电子制造业中的关键设备之一,光电所从1991年开始承担研制1000—800纳米分步重复投影光刻机,取得了一系列重大技术创新与突破。
作为光刻机核心系统的5倍精缩投影物镜,首次突破双远心设计和研制,能同时满足高精度成像和暗场高精度同轴对准的需要,增加了物镜恒温控制及气压补偿。
光电所自行研究编写了可计算500万条以上光线数的光能分布模拟计算软件。
此外,在掩模硅片同轴对准、高精度三维测量平面气浮工作台、调焦调平等技术上均有突破,实现了整机全自动化。
马东好奇的亲自跑到成都光电所,光电所所长马佳光院士亲自接待这位先后投资10亿美元发展国内半导体的年轻人。
马东是受宠若惊!
在参观过程中,马东询问了很多,也很深入。
陪同的马佳光院士也是暗暗吃惊,他是真没想到马东对光刻机的熟悉程度如此之深。
这么年轻,马东是从哪里学到的这些技术,也不像是临时准备呀,马佳光院士疑惑不解。
通过深入了解,马东既高兴有失望。
高兴是:国内终于有了高良品率的800纳米CMOS全套工艺的光刻机。
失望是:靠军工那点产量,光刻机工业化生产遥遥无期。如果采用国外零配件,虽然可以快速量产,但零部件自产率不到40%,剩余的60%需要依赖进口。
看着国内半导体产业发展之路坎坎坷坷,马东也是着急。
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